เป็นเครื่องมือตรวจวิเคราะห์ด้านจุลทรรศาสตร์อิเล็คตรอน โดยมีเครื่องมือ
- TEM (Transmission Electron Microscope): JEM 2010
- FE-Scanning Electron Microscope: JSM 6335 F
- LV-Scanning Electron Microscope: JSM 5910 LV
- SEM EFI Quanta 200 3D / FIB EFI Quanta 200 3D
- Scanning Electron Microscope: JSM -IT300